設備簡述
腔體
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4pcs
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進/出架室
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L2600×W300×H2200mm |
1.72m3 |
進/出架儲氣罐室
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Φ500×H1600mm |
2.51m3 |
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占地
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30m×10m |
進/出架傳輸室
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L2500×W200×H2000mm |
1.00m3 |
鍍膜室主真空室 |
L1300×W250×H2200mm |
0.72m3 |
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玻璃架鍍膜窗口尺寸 |
L2300×H1600 |
進/出玻璃架節(jié)拍
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5 mins |
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應用技術
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磁控濺射
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電源
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直流電源40KW,中頻電源40kw
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磁控靶
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14pcs |
ITO平面靶4支,Al圓柱靶8支, Cu圓柱靶1支, SS圓柱靶1支
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應用
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液晶顯示器(LCD)、太陽能電池、微電子ITO導電膜玻璃、光電子和各種光學領域玻璃連續(xù)鍍膜 |
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